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50837904金虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】急问关于1um左右溶胶膜层，薄膜XRD测不出 是什么原因
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我采用溶胶凝胶法 提拉技术 在金属基体上制备复合薄膜，底层为一种氧化物薄膜，外层为另一种氧化物薄膜，采用台阶仪测试膜厚，膜层不均匀，总的膜厚平均在1um左右，底层也是600-700nm左右，外层膜厚600-700nm左右，采用帕纳科公司的x pro系列衍射仪，但是薄膜XRD只测出很弱的底层物质的一个特征峰，外层物质没有测出来，基体的峰很强， 同时我做过粉末衍射，两种物质均为氧化物状态，且峰明显。 想问一下侧不出来的原因，是我的膜层不致密吗 还是厚度不均匀，谢谢各位虫虫了。 [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-7-23 at 07:34 ] |
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muruige1213
禁虫 (正式写手)
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2楼2008-07-22 19:50:49
50837904
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3楼2008-07-22 23:04:40
Tavano
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4楼2008-07-22 23:10:52
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5楼2008-07-23 08:06:25
fxf0909
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7楼2008-07-23 10:35:39
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| 我在测GaN薄膜（1um厚）的时候也遇到过类似情况，开始用的是单晶XRD测试仪，Single Crystal X-ray Diffractometer-Bruker （Model: Smart-APEX）什么都测不出来，后来改用Powder X-ray diffractometer_Philips （Model: PW1830）还是不行，最后使用了High Resolution X-ray Diffraction System （Model: PW1825）就测出来了。所以我建议你试试High Resolution X-ray Diffraction。具体这三种X-ray仪器的区别我就不懂了，现在也不知道为什么能或不能测出来。有高手可以给解释一下。 |
8楼2008-07-23 11:38:00
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