24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 759  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

gfls345678

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于PECVD制备二氧化锰薄膜的方案求助 已有2人参与

哪位大侠用PECVD做过二氧化锰薄膜的制备?有没有方案可给?在此请多多指教!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2015-06-05 21:58:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

zhangmagic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gfls345678: 金币+5 2015-06-04 18:10:44
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗
3楼2015-06-04 11:50:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gfls345678

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangmagic at 2015-06-04 11:50:42
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗

没办法,网上确实没有相关的方案,只能自己慢慢试验,真是很坑爹。
4楼2015-06-04 18:10:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接溅射氧化锰靶材不可以么?或者是通氧气溅射锰靶材?这个方案不是更省事么?
5楼2015-06-05 13:36:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂推荐 +5 小聂爱学习 2026-04-14 5/250 2026-04-15 09:01 by blunt110
[考研] 恳请有学校收留 +3 柯淮然 2026-04-12 3/150 2026-04-14 16:25 by 逆水乘风
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
[考研] 机械还有还有名额吗?太难了 +8 笑笑袁 2026-04-10 8/400 2026-04-14 08:44 by screening
[考研] 一志愿中南大学 0855 机械 286 求调剂 +11 不会吃肉 2026-04-12 11/550 2026-04-13 21:59 by bljnqdcc
[基金申请] 2026 WR青拔 +3 冬日阳光CAS 2026-04-09 6/300 2026-04-13 18:40 by liuchb715
[考研] 一志愿西交机械专硕求调剂 +9 求上岸的小王 2026-04-10 9/450 2026-04-13 16:08 by jiangguiquan11
[考研] 材料复试求调剂 +24 xhhdjdjsjks 2026-04-09 24/1200 2026-04-13 15:49 by 幸免 ..
[考研] 一志愿085802 323分求调剂 +13 drizzle_9 2026-04-12 14/700 2026-04-13 10:26 by Faiz5552
[考研] 0831生医工第一轮调剂失败求助 +12 小熊睿睿_s 2026-04-11 16/800 2026-04-12 16:28 by 钰璞
[考研] 0854调剂 +12 长弓傲 2026-04-09 13/650 2026-04-12 09:56 by 逆水乘风
[考研] 调剂 +6 青灯不负 2026-04-09 6/300 2026-04-11 20:35 by dongdian1
[考研] 359求调剂 +5 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 19:55 by lbsjt
[考研] 085410 273分调剂 +4 X1999 2026-04-09 4/200 2026-04-11 13:05 by pies112
[考研] 293求调剂 +6 勇远库爱314 2026-04-08 6/300 2026-04-11 10:08 by zhq0425
[考研] 吉大计算机技术331分,英语六级,求调剂 +3 峰峰021116 2026-04-09 3/150 2026-04-10 20:01 by chemisry
[考研] 284求调剂 +9 让我上岸吧阿西 2026-04-09 11/550 2026-04-10 19:18 by 靖jing
[考研] 265求调剂 +12 风说她早忘了 2026-04-10 13/650 2026-04-10 18:56 by chemisry
[考研] 332,085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[考研] 0860004 求调剂 309分 +6 Yin DY 2026-04-09 6/300 2026-04-09 10:19 by 啊李999
信息提示
请填处理意见