24小时热门版块排行榜    

查看: 855  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

gfls345678

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于PECVD制备二氧化锰薄膜的方案求助 已有2人参与

哪位大侠用PECVD做过二氧化锰薄膜的制备?有没有方案可给?在此请多多指教!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangmagic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gfls345678: 金币+5 2015-06-04 18:10:44
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗
3楼2015-06-04 11:50:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

gfls345678

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangmagic at 2015-06-04 11:50:42
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗

没办法,网上确实没有相关的方案,只能自己慢慢试验,真是很坑爹。
4楼2015-06-04 18:10:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接溅射氧化锰靶材不可以么?或者是通氧气溅射锰靶材?这个方案不是更省事么?
5楼2015-06-05 13:36:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gfls345678

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-06-05 13:36:36
直接溅射氧化锰靶材不可以么?或者是通氧气溅射锰靶材?这个方案不是更省事么?

没有设备,只能用PECVD
6楼2015-06-05 19:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的? +16 爱看书的可乐 2026-08-26 18/900 2026-08-28 09:33 by winsaint
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +5 yuleib84 2026-08-26 6/300 2026-08-28 00:02 by yudaoqian88
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +7 苏东坡二世 2026-08-23 7/350 2026-08-27 18:14 by 瞬息宇宙
[基金申请] 基金不中,共勉 +10 eulota 2026-08-26 10/500 2026-08-27 17:23 by lqllinqiaoli
[基金申请] 基金未中,这种答复是模板吗? +5 zhaosm1982 2026-08-27 6/300 2026-08-27 16:00 by lfy8008
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[文学芳草园] 梦想 +3 myrtle 2026-08-26 3/150 2026-08-27 10:01 by angelyueyi
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜? 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 我不理解! +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +22 羊腰板 2026-08-21 25/1250 2026-08-26 15:00 by zuocuiping
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +23 koalala 2026-08-24 26/1300 2026-08-26 14:29 by 宝贝虫子
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
信息提示
请填处理意见