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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于PECVD制备二氧化锰薄膜的方案求助
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于PECVD制备二氧化锰薄膜的方案求助 已有2人参与

哪位大侠用PECVD做过二氧化锰薄膜的制备？有没有方案可给？在此请多多指教！
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1楼 2015-06-03 16:07:42
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zhangmagic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gfls345678: 金币+5 2015-06-04 18:10:44
没做过
但是如果用PECVD，应该用气态（或者可加热使其气态化）前驱体，然后通入氧气，等离子体放电沉积。基台估计要加热，最好还要有偏压加在上面，各种参数（气体比例，放电功率，偏压等）试呗
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3楼2015-06-04 11:50:42
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangmagic at 2015-06-04 11:50:42
没做过
但是如果用PECVD，应该用气态（或者可加热使其气态化）前驱体，然后通入氧气，等离子体放电沉积。基台估计要加热，最好还要有偏压加在上面，各种参数（气体比例，放电功率，偏压等）试呗

没办法，网上确实没有相关的方案，只能自己慢慢试验，真是很坑爹。
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4楼2015-06-04 18:10:37
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接溅射氧化锰靶材不可以么？或者是通氧气溅射锰靶材？这个方案不是更省事么？
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5楼2015-06-05 13:36:36
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-06-05 13:36:36
直接溅射氧化锰靶材不可以么？或者是通氧气溅射锰靶材？这个方案不是更省事么？

没有设备，只能用PECVD
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6楼2015-06-05 19:56:41
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