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汕头大学海洋科学接受调剂
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于PECVD制备二氧化锰薄膜的方案求助 已有2人参与

哪位大侠用PECVD做过二氧化锰薄膜的制备?有没有方案可给?在此请多多指教!
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangmagic at 2015-06-04 11:50:42
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗

没办法,网上确实没有相关的方案,只能自己慢慢试验,真是很坑爹。
4楼2015-06-04 18:10:37
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zhangmagic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gfls345678: 金币+5 2015-06-04 18:10:44
没做过
但是如果用PECVD,应该用气态(或者可加热使其气态化)前驱体,然后通入氧气,等离子体放电沉积。基台估计要加热,最好还要有偏压加在上面,各种参数(气体比例,放电功率,偏压等)试呗
3楼2015-06-04 11:50:42
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接溅射氧化锰靶材不可以么?或者是通氧气溅射锰靶材?这个方案不是更省事么?
5楼2015-06-05 13:36:36
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gfls345678

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-06-05 13:36:36
直接溅射氧化锰靶材不可以么?或者是通氧气溅射锰靶材?这个方案不是更省事么?

没有设备,只能用PECVD
6楼2015-06-05 19:56:41
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