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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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aren5720

新虫 (初入文坛)

[交流] (交流) 铝硅玻璃各向异性蚀刻(壁面垂直),湿法蚀刻工艺 已有1人参与

铝硅玻璃表面蚀刻出4mm*4mm,深300um的凹形,要求各向异性蚀刻(壁面垂直),蚀刻蚀刻工艺能做到吗
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小博士后

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2楼: Originally posted by aren5720 at 2015-05-29 22:42:08
现在是用HF做湿法蚀刻 出现钻蚀的情况,各位朋友有什么好的办法没有

HF出现钻蚀是正常情况,但是可以通过其他方式达到垂直结构,具体加工要求可以站内联系。
3楼2015-06-09 01:31:57
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aren5720

新虫 (初入文坛)

现在是用HF做湿法蚀刻 出现钻蚀的情况,各位朋友有什么好的办法没有
2楼2015-05-29 22:42:08
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