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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » （交流） 铝硅玻璃各向异性蚀刻（壁面垂直），湿法蚀刻工艺
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aren5720

新虫 (初入文坛)

[交流] （交流） 铝硅玻璃各向异性蚀刻（壁面垂直），湿法蚀刻工艺 已有1人参与

铝硅玻璃表面蚀刻出4mm*4mm，深300um的凹形，要求各向异性蚀刻（壁面垂直），蚀刻蚀刻工艺能做到吗
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1楼 2015-05-29 22:35:48
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aren5720

新虫 (初入文坛)
现在是用HF做湿法蚀刻 出现钻蚀的情况，各位朋友有什么好的办法没有
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2楼2015-05-29 22:42:08
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小博士后

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引用回帖:
2楼: Originally posted by aren5720 at 2015-05-29 22:42:08
现在是用HF做湿法蚀刻 出现钻蚀的情况，各位朋友有什么好的办法没有

HF出现钻蚀是正常情况，但是可以通过其他方式达到垂直结构，具体加工要求可以站内联系。
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3楼2015-06-09 01:31:57
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