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再给我两分钟

木虫 (正式写手)

[求助] 干法刻蚀LSMO的地方???? 已有2人参与

我想求助下各位虫子,样品是 :钛酸锶(SrTiO3)衬底上镀了一层100nm厚的镧锶锰氧(LSMO),现需要用干法刻蚀的方法在镧锶锰氧上刻蚀出一道宽100nm或者200nm的沟道,将镧锶锰氧隔开(深是100nm)!想问下大家知不知道内地哪个学校或者研究所能刻蚀这种样品,费用大概是多少???谢谢!!!
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dbw1900 at 2015-05-21 22:23:56
需要用电子束曝光做掩膜,然后Ar离子刻蚀即可。很多地方可以做,需要EBL,刻蚀机,例如,中科院物理所微加工实验室。

你做过吗?效果怎么样?需要多少钱?是他们给做还是得自己学?谢谢啊!
3楼2015-05-22 09:09:33
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dbw1900

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
再给我两分钟: 金币+10, 有帮助 2015-07-31 16:19:35
需要用电子束曝光做掩膜,然后Ar离子刻蚀即可。很多地方可以做,需要EBL,刻蚀机,例如,中科院物理所微加工实验室。
2楼2015-05-21 22:23:56
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)

没人能给出具体点的信息吗????
4楼2015-05-24 09:36:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容! 2017-07-25 23:23:26
本帖内容被屏蔽

6楼2015-05-28 13:36:12
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