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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 干法刻蚀LSMO的地方？？？？
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)

[求助] 干法刻蚀LSMO的地方？？？？ 已有2人参与

我想求助下各位虫子，样品是 ：钛酸锶（SrTiO3）衬底上镀了一层100nm厚的镧锶锰氧（LSMO），现需要用干法刻蚀的方法在镧锶锰氧上刻蚀出一道宽100nm或者200nm的沟道，将镧锶锰氧隔开（深是100nm）！想问下大家知不知道内地哪个学校或者研究所能刻蚀这种样品，费用大概是多少？？？谢谢！！！
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1楼 2015-05-21 14:18:32
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dbw1900

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
再给我两分钟: 金币+10, ★有帮助 2015-07-31 16:19:35
需要用电子束曝光做掩膜，然后Ar离子刻蚀即可。很多地方可以做，需要EBL，刻蚀机，例如，中科院物理所微加工实验室。
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2楼2015-05-21 22:23:56
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dbw1900 at 2015-05-21 22:23:56
需要用电子束曝光做掩膜，然后Ar离子刻蚀即可。很多地方可以做，需要EBL，刻蚀机，例如，中科院物理所微加工实验室。

你做过吗？效果怎么样？需要多少钱？是他们给做还是得自己学？谢谢啊！
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3楼2015-05-22 09:09:33
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)
没人能给出具体点的信息吗？？？？
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4楼2015-05-24 09:36:10
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再给我两分钟

木虫 (正式写手)
额 无语了
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5楼2015-05-25 10:06:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:23:26
本帖内容被屏蔽
6楼2015-05-28 13:36:12
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