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再给我两分钟木虫 (正式写手)
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[求助]
干法刻蚀LSMO的地方？？？？ 已有2人参与
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我想求助下各位虫子，样品是 ：钛酸锶（SrTiO3）衬底上镀了一层100nm厚的镧锶锰氧（LSMO），现需要用干法刻蚀的方法在镧锶锰氧上刻蚀出一道宽100nm或者200nm的沟道，将镧锶锰氧隔开（深是100nm）！想问下大家知不知道内地哪个学校或者研究所能刻蚀这种样品，费用大概是多少？？？谢谢！！！ |
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dbw1900
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2楼2015-05-21 22:23:56
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