| 查看: 612 | 回复: 3 | |||
[求助]
同一溅射条件下，单一TiN膜就结晶，共溅射复合膜TiN就不结晶了？金币散尽求解答 已有1人参与
|
|
在XRD上表征，因为结晶性很重要，需要看有没有出现相应的峰，改变了多个参数，依然出现如下两个问题： 1.靶材是TiN，Ar2气体流量40sccm，压强0.5Pa，本底真空3*10-4，偏压50V到100V都有，功率120W，溅射2h，相同条件下不锈钢，钛合金和Si基底都做了，只有钛合金基底上没有出现TiN的峰： 2.如上，Si基底和不锈钢基底都出现TiN的峰，但是和Ag共溅射后，无论是Si基底还是钛合金基底，Ag的特征峰倒是出现了，但是TiN的峰却没有出现。钛合金基底上没有出现能理解，因为单纯就TiN膜，其本来就没有在钛合金上出现过峰，何况和Ag复合，不理解的是为什么在Si基底上复合，TiN的峰也消失不见了。 自己的金币很有限，海涵，希望能给点指导，万分感谢！  |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
xsz2013» 猜你喜欢
211本科材料化工求调剂
已经有23人回复
-
山东省基金2026
已经有9人回复
-
一志愿华中农业071010，320求调剂
已经有5人回复
-
药学求调剂
已经有13人回复
-
求调剂推荐
已经有4人回复
-
290调剂生物0860
已经有40人回复
-
085400电子信息类（川大控制工程）求调剂可跨专业 求老师联系
已经有6人回复
-
材料工程281还有调剂机会吗
已经有42人回复
-
273求调剂
已经有6人回复
-
药学305求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射TiN的颜色问题
已经有8人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2015-05-04 16:01:32
3楼2015-05-05 11:15:32
4楼2015-05-23 20:46:47
