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同一溅射条件下，单一TiN膜就结晶，共溅射复合膜TiN就不结晶了？金币散尽求解答 已有1人参与
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在XRD上表征，因为结晶性很重要，需要看有没有出现相应的峰，改变了多个参数，依然出现如下两个问题： 1.靶材是TiN，Ar2气体流量40sccm，压强0.5Pa，本底真空3*10-4，偏压50V到100V都有，功率120W，溅射2h，相同条件下不锈钢，钛合金和Si基底都做了，只有钛合金基底上没有出现TiN的峰： 2.如上，Si基底和不锈钢基底都出现TiN的峰，但是和Ag共溅射后，无论是Si基底还是钛合金基底，Ag的特征峰倒是出现了，但是TiN的峰却没有出现。钛合金基底上没有出现能理解，因为单纯就TiN膜，其本来就没有在钛合金上出现过峰，何况和Ag复合，不理解的是为什么在Si基底上复合，TiN的峰也消失不见了。 自己的金币很有限，海涵，希望能给点指导，万分感谢！  |
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