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freeman3

铁虫 (小有名气)

[交流] 急问-请教薄膜方面专家

急问-请教薄膜方面专家
最近想做一些物理法渡膜的工作,但是对有些基本的问题还不是太懂,在这里请教一下。

对于目前常用的镀膜方法,比如 electron-beam deposition, ion-beam depositon(Ar+), radio-frequency 磁控溅射,这三个方法比起来,是不是在精确度方面e-beam>ion-beam>磁控溅射?

  此外,film的质量呢?比如多孔性,疏松性,结晶性质等,是否有什么区别?

我现在用的是Ar离子辅助的 ion-beam deposition,所以更想知道这个方法得到的膜的一些特征(target为SiO2,设备为Gatan 682 precise etching and deposition system)。

非常感谢大家!
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纳米镍粉

荣誉版主 (职业作家)

我是大好人

优秀版主

film的质量呢?比如多孔性,疏松性,结晶性质等,是否有什么区别?

可能会有很大的区别!
工作就像海绵里的水,不用挤也一直流不停你把初夜给了虚荣,爱情给了初恋,躯壳给了我,我要它做甚?流氓不可怕,就怕流氓有文化在天愿作比翼鸟,在地愿作同圈猪
3楼2008-07-09 07:16:48
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纳米镍粉

荣誉版主 (职业作家)

我是大好人

优秀版主

这用X射线可以很方便的检测出来
工作就像海绵里的水,不用挤也一直流不停你把初夜给了虚荣,爱情给了初恋,躯壳给了我,我要它做甚?流氓不可怕,就怕流氓有文化在天愿作比翼鸟,在地愿作同圈猪
4楼2008-07-09 07:18:10
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