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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 产品设计与开发 » 硅衬底的多晶硅背封工艺
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厚德载物之道

银虫 (初入文坛)

[交流] 硅衬底的多晶硅背封工艺

用LPCVD设备，在硅片上沉积一层多晶硅薄膜，可能由于清洗不干净或其他问题，膜上出现颗粒沾污、蹭伤能进行返工吗？有好的方法吗？因为正常企业生产，如果不能返工损失会很大，请有经验的专业人士给些建议。
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1楼 2015-04-20 11:15:49
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810043138
2楼2015-04-20 11:21:45
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