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金属钛靶通氮气镀膜和氮化钛靶直接镀膜，这两者差异在哪儿？ 已有3人参与
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| 看到的文献镀TiN膜基本上都是用钛靶，通氮气来镀膜，为什么不直接用氮化钛靶材来镀膜呢？是因为通过控制氮气流量更好的来控制膜的性能？我目前就是用后者进行镀膜，这两者方式的差异意味着什么，请教下虫友们 |
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 薄膜制备与特性 |
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