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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 金属钛靶通氮气镀膜和氮化钛靶直接镀膜，这两者差异在哪儿？
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 金属钛靶通氮气镀膜和氮化钛靶直接镀膜，这两者差异在哪儿？ 已有3人参与

看到的文献镀TiN膜基本上都是用钛靶，通氮气来镀膜，为什么不直接用氮化钛靶材来镀膜呢？是因为通过控制氮气流量更好的来控制膜的性能？我目前就是用后者进行镀膜，这两者方式的差异意味着什么，请教下虫友们
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1楼 2015-04-18 23:54:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-04-20 15:38:52
不是组分单一吗，也就是靶材是什么薄膜是什么，为什么说可能出现薄膜与靶材的组分偏差呢，请教...

不可能完全一样，另外，你镀膜条件不一样的话，会有组分偏差，不过可能是轻微的
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用绳命来搞科研
4楼2015-04-21 15:59:37
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xsz2013: 金币+5, ★有帮助 2015-04-20 15:39:07
xsz2013: 金币+3, ★★★很有帮助 2015-06-09 16:45:09
通氮气镀膜可以比较容易进行薄膜中N含量控制，调节薄膜性能，氮化钛靶镀膜的话，组分单一，且可能出现薄膜与靶材的组分偏差
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用绳命来搞科研
2楼2015-04-20 11:13:58
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-04-20 11:13:58
通氮气镀膜可以比较容易进行薄膜中N含量控制，调节薄膜性能，氮化钛靶镀膜的话，组分单一，且可能出现薄膜与靶材的组分偏差

不是组分单一吗，也就是靶材是什么薄膜是什么，为什么说可能出现薄膜与靶材的组分偏差呢，请教
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3楼2015-04-20 15:38:52
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riddickfang

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xsz2013: 金币+5, ★有帮助 2015-05-13 00:11:53
xsz2013: 金币+2, ★有帮助 2015-06-09 16:44:22
我用的是 反应溅射  TiNx其实是这个组分  你可以通过控制氮气的含量 在控制不同组分 还有用就是 TiNx的 特性收到但其含量影响很大 楼主可以参考一下别人写的文章 我见过的 都是 反应溅射做的
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5楼2015-04-29 15:00:48
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