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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 柔性梁制造工艺
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蓝军压电

银虫 (正式写手)

[求助] 柔性梁制造工艺 已有1人参与

有研究蛇形（S形）振动悬臂梁(详见附件，振动方向垂直于纸面)的制造工艺（毫米）的文献吗？好像一般是用MEMS技术加工的，如光刻，刻蚀之类的。
求推荐！
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    • 2015-04-10 16:21:02, 23.5 K

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@reninhat

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人生没有遗憾，那些只是未曾实现的梦想而已
1楼 2015-04-10 16:21:49
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
牺牲层工艺，就是梁的释放不是很好控制
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2楼2015-04-10 16:36:12
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蓝军压电

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-04-10 16:36:12
牺牲层工艺，就是梁的释放不是很好控制

哦哦，谢啦。那有制造那种蛇形悬臂梁的例子吗？想参考下呢，不用金属，用对二甲苯柔性材料可以制作吗？
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人生没有遗憾，那些只是未曾实现的梦想而已
3楼2015-04-13 09:49:10
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