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有研究蛇形（S形）振动悬臂梁(详见附件，振动方向垂直于纸面)的制造工艺（毫米）的文献吗？好像一般是用MEMS技术加工的，如光刻，刻蚀之类的。 求推荐！ |
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2015-04-10 16:21:02, 23.5 K
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