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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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蓝军压电

银虫 (正式写手)

[求助] 柔性梁制造工艺 已有1人参与

有研究蛇形(S形)振动悬臂梁(详见附件,振动方向垂直于纸面)的制造工艺(毫米)的文献吗?好像一般是用MEMS技术加工的,如光刻,刻蚀之类的。
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人生没有遗憾,那些只是未曾实现的梦想而已
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蓝军压电

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2015-04-10 16:36:12
牺牲层工艺,就是梁的释放不是很好控制

哦哦,谢啦。那有制造那种蛇形悬臂梁的例子吗?想参考下呢,不用金属,用对二甲苯柔性材料可以制作吗?
人生没有遗憾,那些只是未曾实现的梦想而已
3楼2015-04-13 09:49:10
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
牺牲层工艺,就是梁的释放不是很好控制
2楼2015-04-10 16:36:12
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