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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在用PLD镀膜的时候，发现等离子体羽辉变小，求原因！！！
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紫轩m梦

新虫 (初入文坛)

[求助] 在用PLD镀膜的时候，发现等离子体羽辉变小，求原因！！！

在沉积薄膜的时候，发现等离子体羽辉变小，但是观察氧压和激光能量是稳定的，这会是什么原因造成的？求解答。
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1楼 2015-04-03 10:20:57
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mengICQ

新虫 (初入文坛)
可能是靶材在溅射过程中表面发生了变化，可以讲表面打磨平整再做
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2楼2016-01-06 21:06:44
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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定期清洗入射玻璃

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善良
3楼2016-04-18 21:55:39
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larme

新虫 (小有名气)
和凹凸透镜入射光角度有关，还有就是玻璃清洗问题了。
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4楼2016-10-12 17:54:23
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wiseroy at 2016-04-18 21:55:39
定期清洗入射玻璃

请问怎么清洗，直接用酒精擦洗么？

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5楼2017-04-20 16:00:00
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bbblbn

铁虫 (初入文坛)
可能是靶的问题

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6楼2017-04-20 19:11:10
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)
靶材哪方面的问题，怎么解决？

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7楼2017-04-22 12:22:52
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by bbblbn at 2017-04-20 19:11:10
可能是靶的问题

靶材哪方面的问题，怎么解决？

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8楼2017-04-22 12:23:35
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