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紫轩m梦

新虫 (初入文坛)

[求助] 在用PLD镀膜的时候,发现等离子体羽辉变小,求原因!!!

在沉积薄膜的时候,发现等离子体羽辉变小,但是观察氧压和激光能量是稳定的,这会是什么原因造成的?求解答。
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mengICQ

新虫 (初入文坛)

可能是靶材在溅射过程中表面发生了变化,可以讲表面打磨平整再做
2楼2016-01-06 21:06:44
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

善良
3楼2016-04-18 21:55:39
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larme

新虫 (小有名气)

和凹凸透镜入射光角度有关,还有就是玻璃清洗问题了。
4楼2016-10-12 17:54:23
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wiseroy at 2016-04-18 21:55:39
定期清洗入射玻璃

请问怎么清洗,直接用酒精擦洗么?

发自小木虫Android客户端
5楼2017-04-20 16:00:00
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bbblbn

铁虫 (初入文坛)

6楼2017-04-20 19:11:10
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)

靶材哪方面的问题,怎么解决?

发自小木虫Android客户端
7楼2017-04-22 12:22:52
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丝雨yu

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by bbblbn at 2017-04-20 19:11:10
可能是靶的问题

靶材哪方面的问题,怎么解决?

发自小木虫Android客户端
8楼2017-04-22 12:23:35
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