20楼: Originally posted by 雾之祥 at 2015-04-06 14:46:21
根据我们的分析，我们先这样认为可以吗：N1s在396-398 eV的峰均为金属氮化物的峰，暂定此峰为Zn-N峰。

O1s峰为529 eV，基本上应该是金属氧化物，也就是Zn-O，531 eV处的肩峰，暂不予考虑。

至于您提到的 Zn  ...

21楼: Originally posted by dwysd at 2015-04-06 21:15:29
N/O比例接近1:1，请见19楼的回复。

另，如果可能，请提供每次刻蚀后的XPS数据。

我说的刻蚀后全谱是指，应该在每次刻蚀后，先扫全谱，确定测试区存在哪些元素，然后在对存在的元素特征峰进行高分辨扫描。...