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密西里面

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何在硅片上旋涂聚酰亚胺，加热后得到平整不弯曲的聚酰亚胺薄膜

下面我自己摸索的工艺，但可重复性不好。不知道有什么改进方法，或者谁能提供一种方法呢。就是能把PI薄膜完整揭下来，且不发生卷曲，就跟手机膜那样
流程：
1  清洗硅片
2  对硅片表面进行plasma亲水处理20s
3  旋涂一定厚度PDMS
我在此次试验中采用的工艺DMS(10:2),旋涂仪转速 500rpm/s  15s;1000rpm/s 30s。
4  之后在热板上180摄氏度烘1小时，使PDMS固化
5  再在PDMS层上旋涂PI薄层
          试验中的工艺: 旋涂仪转速 500rpm/s 15s;2000rpm/s 30s
6置于热板上烘烤），之后关闭热板自然降温至室温；（自然降至室温可减小揭取时PI的弯曲量）
7刀片修理下硅片边缘，便可很容易的从PDMS基底上揭取完整的PI薄膜
上述暂时解决了PI的揭取问题,但是揭下来的PI薄膜会发生弯曲,如何能减小这种弯曲呢
实际流程
1.         180摄氏度 1000rpmPDMS（10：2）  烤1小时；
2.         2000rpm PI 120摄氏度固化2小时；
3.        180摄氏度2小时，自然降温
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1楼 2015-03-30 11:24:14
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马小品

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 密西里面 at 2015-03-30 13:38:23
80摄氏度烤箱加热，卷了...

你也集成电路？好巧。要不把薄膜放入去离子水或者无水乙醇中浸泡一会去除应力，建议试试
赞一下 回复此楼
你看那个人好奇怪，像条狗。。。。
5楼2015-03-30 15:36:16
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马小品

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

试试把薄膜加热一下消除应力
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你看那个人好奇怪，像条狗。。。。
3楼2015-03-30 11:56:46
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密西里面

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 马小品 at 2015-03-30 11:56:46
试试把薄膜加热一下消除应力

80摄氏度烤箱加热，卷了
赞一下 回复此楼
4楼2015-03-30 13:38:23
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密西里面

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 马小品 at 2015-03-30 15:36:16
你也集成电路？好巧。要不把薄膜放入去离子水或者无水乙醇中浸泡一会去除应力，建议试试...

嗯，专业一样的，现在在愁毕设啊。你有这个应力的相关资料吗，我不太了解
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2015-03-31 11:42:56
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