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ijianhui木虫 (正式写手)
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溅射tio2薄膜,功率250w,气体氧25sccm,氩气25sccm,tio2薄膜电阻低? 已有1人参与
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| 最近溅射tio2薄膜,功率250w,气体氧25sccm,氩气25sccm,长了十几分钟,大约有三十纳米,长电极测电阻后,溅射的tio2薄膜电阻测试只有11欧姆,长了几批样品结果都是一样,请问大神和能人帮我解决下这个问题,不胜感激 |
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