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ijianhui木虫 (正式写手)
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[求助]
溅射tio2薄膜，功率250w，气体氧25sccm，氩气25sccm，tio2薄膜电阻低？ 已有1人参与
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| 最近溅射tio2薄膜，功率250w，气体氧25sccm，氩气25sccm，长了十几分钟，大约有三十纳米，长电极测电阻后，溅射的tio2薄膜电阻测试只有11欧姆，长了几批样品结果都是一样，请问大神和能人帮我解决下这个问题，不胜感激 |
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ijianhui
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3楼2015-04-20 20:23:31
20