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ijianhui

木虫 (正式写手)

[求助] 溅射tio2薄膜,功率250w,气体氧25sccm,氩气25sccm,tio2薄膜电阻低? 已有1人参与

最近溅射tio2薄膜,功率250w,气体氧25sccm,氩气25sccm,长了十几分钟,大约有三十纳米,长电极测电阻后,溅射的tio2薄膜电阻测试只有11欧姆,长了几批样品结果都是一样,请问大神和能人帮我解决下这个问题,不胜感激
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
ijianhui: 金币+15 2015-04-20 20:23:21
试试5 scmm O2, 45 sccm Ar
2楼2015-04-01 04:11:48
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ijianhui

木虫 (正式写手)

3楼2015-04-20 20:23:31
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