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lqshn

新虫 (小有名气)

[求助] 无基底薄膜厚度测量方法 已有3人参与

本人做了一无基底的透明薄膜,比较柔软,估计厚度在500nm以内,请问大家有什么好方法测其厚度?
1.用SEM测量的话,如何得到断面是个问题,液氮脆断的时候从液氮取出来就软了。。。
2.转移到基底上会不会贴合不够严实?或者在压平时导致变形?
大家有什么建议吗?
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

因为你的薄膜比较柔软,使用椭偏仪的话,因为表面不平整,估计不好测量。如果薄膜是导电的话,可以尝试用测量面阻的方法,来测量薄膜的厚度。
可以详细的说明下你的薄膜组成,以便大家帮你寻找更好地测量方法。
4楼2015-04-01 11:37:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
看来只能使用光学的方法了。据说椭偏仪可以测量薄膜的厚度,可找来试试。
2楼2015-03-26 18:41:33
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lqshn

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-03-26 18:41:33
看来只能使用光学的方法了。据说椭偏仪可以测量薄膜的厚度,可找来试试。

如果没有基底的话,椭偏仪可以测吗?
3楼2015-04-01 11:20:48
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lqshn

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 石银东 at 2015-04-01 11:37:43
因为你的薄膜比较柔软,使用椭偏仪的话,因为表面不平整,估计不好测量。如果薄膜是导电的话,可以尝试用测量面阻的方法,来测量薄膜的厚度。
可以详细的说明下你的薄膜组成,以便大家帮你寻找更好地测量方法。

是别人给我的一个样品,是蛋白石的膜,可以怎么测量呀?
5楼2015-04-03 14:15:54
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