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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 无基底薄膜厚度测量方法
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lqshn

新虫 (小有名气)

[求助] 无基底薄膜厚度测量方法 已有3人参与

本人做了一无基底的透明薄膜，比较柔软，估计厚度在500nm以内，请问大家有什么好方法测其厚度？
1.用SEM测量的话，如何得到断面是个问题，液氮脆断的时候从液氮取出来就软了。。。
2.转移到基底上会不会贴合不够严实？或者在压平时导致变形？
大家有什么建议吗？
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1楼 2015-03-26 16:37:22
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

因为你的薄膜比较柔软，使用椭偏仪的话，因为表面不平整，估计不好测量。如果薄膜是导电的话，可以尝试用测量面阻的方法，来测量薄膜的厚度。
可以详细的说明下你的薄膜组成，以便大家帮你寻找更好地测量方法。
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4楼2015-04-01 11:37:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看来只能使用光学的方法了。据说椭偏仪可以测量薄膜的厚度，可找来试试。
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2楼2015-03-26 18:41:33
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lqshn

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-03-26 18:41:33
看来只能使用光学的方法了。据说椭偏仪可以测量薄膜的厚度，可找来试试。

如果没有基底的话，椭偏仪可以测吗？
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3楼2015-04-01 11:20:48
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lqshn

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 石银东 at 2015-04-01 11:37:43
因为你的薄膜比较柔软，使用椭偏仪的话，因为表面不平整，估计不好测量。如果薄膜是导电的话，可以尝试用测量面阻的方法，来测量薄膜的厚度。
可以详细的说明下你的薄膜组成，以便大家帮你寻找更好地测量方法。

是别人给我的一个样品，是蛋白石的膜，可以怎么测量呀？
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5楼2015-04-03 14:15:54
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