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shaibin1

铜虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

[求助] 用什么测试方法能够分辨出材料里面是N原子还是N分子？急求！已有1人参与

目前是做光学材料的，我们目前在一种含氮的气体中NF3和N2中分别刻蚀了一种硅材料，两种材料的吸收相差较大，材料的晶体度相差也较大，
考虑NF3中刻蚀的材料是N原子掺杂到材料晶格中，而N2中制备的材料仅仅是N分子直接包覆到了材料里面，不知道有什么测试手段或者方法能够
确认一下这种想法？谢谢

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1楼 2015-03-12 10:57:57

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dwysd

木虫 (著名写手)

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专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

XPS做成分分析，根据N的峰位，可知是分子还是原子。

2楼2015-03-12 13:18:06

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