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PDMS 薄膜制备
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专业: 新型信息器件
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PDMS 薄膜制备
各位虫子好,
我想制备双层PDMS薄膜,第二层比较薄(几微米)。但是不知道第二层在第一层上的黏附性怎么才能比较好。需不需要一些特殊手段。
第二,RIE能否刻蚀PDMS。
谢谢。
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1楼
2015-02-02 23:23:03
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