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windzr木虫 (小有名气)
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钨薄膜晶向问题
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小弟最近溅射了W薄膜,做了XRD分析,但对W的晶向不是太懂,请大神指教。 从Jade软件中看W有两种卡片,一张卡片中39.884对应(210)而另一种卡片中40.264对应(110)晶向,请问如果测试的峰位位于这两个值之间,应该选哪个晶向。 同时如何从XRD测试结果中判断W膜为α-W还是β-W? |
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薄膜制备与特性 |
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