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如何在化学气相沉积炉中提取尾气用于检测
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| 本人做化学气相沉积的机理研究，路子采用负压沉积，想提取炉体中的尾气，由于炉子周围都通了冷却书水，只能在循环水包套和真空泵的接口处取气，请问怎么设计装置可以把负压状态下的气体取出？ |
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