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裴海霞666

银虫 (正式写手)

[求助] 关于镀氧化铟锡电极 已有1人参与

我打算在薄膜上镀一层氧化铟锡电极,有有经验的同学吗?
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windsuk2011

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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裴海霞666: 金币+5, 有帮助 2015-01-28 19:48:52
买一块ITO靶材,磁控溅射沉积,注意控制氧分压(有的ITO靶材可能不需要通氧气),高透过率、高导电性往往需要加热基底,一般基底温度在350℃左右吧,电阻率10的-4次方一般没问题
2楼2015-01-28 09:04:47
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