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关于镀氧化铟锡电极
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裴海霞666
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注册: 2013-06-21
专业: 半导体材料
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关于镀氧化铟锡电极
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我打算在薄膜上镀一层氧化铟锡电极,有有经验的同学吗?
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请问ITO电极是干什么用的,价格多少
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1楼
2015-01-26 20:52:46
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windsuk2011
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帖子: 53
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虫号: 2222758
注册: 2013-01-05
性别: GG
专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
裴海霞666: 金币+5,
★
有帮助
2015-01-28 19:48:52
买一块ITO靶材,磁控溅射沉积,注意控制氧分压(有的ITO靶材可能不需要通氧气),高透过率、高导电性往往需要加热基底,一般基底温度在350℃左右吧,电阻率10的-4次方一般没问题
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2楼
2015-01-28 09:04:47
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