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[求助] 请问下MS软件是否可以模拟杂质在化合物半导体中的扩散?

如题,请教大家MS软件是否可以模拟杂质在化合物半导体中的扩散行为?扩散机制涉及填隙替位机制,kick out机制,扩散系数是与浓度有关的量。
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