| 查看: 1441 | 回复: 4 | |||
[求助]
lift-off 超声不管用 已有3人参与
|
|
各位大神求帮忙，我用lift-off工艺做金的吸收器，胶200纳米PMMA，镀了50纳米金，电子束曝光后用丙酮跑了两天，然后超声，除了pattern处其他地方胶都除掉了，但是pattern的地方不论胶或者曝光刻掉胶的地方，超声都不起作用。镀金用了溅射，金的厚度后来测过不是很准，可能有将近100纳米。求问超不掉pattern处的原因。 附了SEM的图片，只有边边角角能除掉一点，求大神门指点。 |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 20150120.zip
2015-01-22 21:01:27, 8.08 M
» 猜你喜欢
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有258人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- MEMS工艺中做lift off 结果不理想
已经有7人回复
- 询问大家做lift-off都用什么胶？
已经有15人回复
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
公子长风: 金币+10 2015-01-27 12:54:27
感谢参与，应助指数 +1
公子长风: 金币+10 2015-01-27 12:54:27
|
溅射形成连续的膜，必须用大力把它撕开，而且即使撕开了边缘也肯定有破坏、小的结构可能会整个脱落导致失败，所以溅射不太适合做lift off。。。要用电子束蒸发，边界处连接弱，丙酮泡掉pmma以后被架空的金很容易就掉了。 如果有100nm厚，结构尺寸又小的话，很有可能弄不掉了。。。可以尝试用高压气体带着丙酮喷上去，但通常不会比超声力量更大。。。100nm也太厚了吧，好几百块钱了。。。溅射的话二十纳米金lift off就费力了。。。= = 用电子束蒸发重做吧。老实说100nm那么厚的话即使用电子束蒸发这个lift off也不会容易。。。实在没有电子束蒸发的话少镀一点，最起码控制在40nm以内。或许尝试厚一点的胶会有帮助（个人想像，没试过）。。。 |
2楼2015-01-23 01:16:28
xiaoyueriyue
金虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 964.4
- 散金: 1051
- 红花: 6
- 帖子: 381
- 在线: 128小时
- 虫号: 1966386
- 注册: 2012-08-31
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2015-01-24 08:12:21
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2015-01-29 17:09:30
dearmaximus
金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2514.8
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 665
- 在线: 341.4小时
- 虫号: 355083
- 注册: 2007-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
5楼2018-01-03 21:45:11
40