应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » lift-off 超声不管用
51/1返回列表
查看: 1428  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

公子长风

铜虫 (初入文坛)

[求助] lift-off 超声不管用 已有3人参与

各位大神求帮忙，我用lift-off工艺做金的吸收器，胶200纳米PMMA，镀了50纳米金，电子束曝光后用丙酮跑了两天，然后超声，除了pattern处其他地方胶都除掉了，但是pattern的地方不论胶或者曝光刻掉胶的地方，超声都不起作用。镀金用了溅射，金的厚度后来测过不是很准，可能有将近100纳米。求问超不掉pattern处的原因。
附了SEM的图片，只有边边角角能除掉一点，求大神门指点。
回复此楼

» 本帖附件资源列表

  • 欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
    本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com
  • 附件 1 : 20150120.zip
    • 2015-01-22 21:01:27, 8.08 M

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-22 21:01:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
公子长风: 金币+10 2015-01-27 12:54:27
溅射形成连续的膜，必须用大力把它撕开，而且即使撕开了边缘也肯定有破坏、小的结构可能会整个脱落导致失败，所以溅射不太适合做lift off。。。要用电子束蒸发，边界处连接弱，丙酮泡掉pmma以后被架空的金很容易就掉了。

如果有100nm厚，结构尺寸又小的话，很有可能弄不掉了。。。可以尝试用高压气体带着丙酮喷上去，但通常不会比超声力量更大。。。100nm也太厚了吧，好几百块钱了。。。溅射的话二十纳米金lift off就费力了。。。= =

用电子束蒸发重做吧。老实说100nm那么厚的话即使用电子束蒸发这个lift off也不会容易。。。实在没有电子束蒸发的话少镀一点，最起码控制在40nm以内。或许尝试厚一点的胶会有帮助（个人想像，没试过）。。。
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-23 01:16:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
内容已删除
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2015-01-24 08:12:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

像你这种情况，lift off 肯定是做不好的。你用PMMA做亚微米尺度的图形，做溅射必然爬坡。
正确的方式是采用双层胶，一层非光敏可被显影的胶，一层PMMA，顶层PMMA光刻后开口小，底层非光敏胶开口大。溅射的时候PMMA表面的金属和底部坑里的金属必然是断裂的。所以肯定能够lift off好，甚至不用超声，一泡就掉了。
你可以上网查一下苏州锐材半导体的LOL2000，常用的一种底层胶。
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-29 17:09:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
2楼: Originally posted by metaliium at 2015-01-23 01:16:28
溅射形成连续的膜，必须用大力把它撕开，而且即使撕开了边缘也肯定有破坏、小的结构可能会整个脱落导致失败，所以溅射不太适合做lift off。。。要用电子束蒸发，边界处连接弱，丙酮泡掉pmma以后被架空的金很容易就掉 ...

高压气体携带丙酮喷洗属于标准工艺吗？
赞一下 回复此楼
5楼2018-01-03 21:45:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 公子长风 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学调剂 +9 提神豆沙包 2026-02-28 11/550 2026-03-01 18:15 by ms629
[考研] 化工专硕348，一志愿985求调剂 +5 弗格个 2026-02-28 8/400 2026-03-01 17:25 by sunny81
[考研] 0856求调剂285 +8 吕仔龙 2026-02-28 8/400 2026-03-01 17:25 by 刘兵
[考研] 321求调剂一志愿东北林业大学材料与化工英二数二 +4 虫虫虫虫虫7 2026-03-01 7/350 2026-03-01 16:52 by caszguilin
[考研] 材料学硕318求调剂 +8 February_Feb 2026-03-01 10/500 2026-03-01 16:48 by sunny81
[基金申请] 刚录用，没有期刊号，但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 0856调剂 +4 刘梦微 2026-02-28 4/200 2026-03-01 15:35 by 吸一口猫气
[考研] 307求调剂 +5 wyyyqx 2026-03-01 5/250 2026-03-01 15:21 by Fff-1
[考研] 295复试调剂 +3 简木ChuFront 2026-03-01 3/150 2026-03-01 14:27 by zzxw520th
[考研] 291分工科求调剂 +8 science饿饿 2026-03-01 9/450 2026-03-01 14:22 by Ducount.Y
[考研] 材料284求调剂，一志愿郑州大学英一数二专硕 +10 想上岸的土拨鼠 2026-02-28 10/500 2026-03-01 14:12 by yc258
[考研] 调剂 +3 简木ChuFront 2026-02-28 3/150 2026-03-01 11:46 by 王伟要上岸啊
[考研] 311求调剂 +9 南迦720 2026-02-28 10/500 2026-03-01 10:55 by sunny81
[考博] 博士自荐 +4 kkluvs 2026-02-28 4/200 2026-03-01 10:19 by 馥安馥安
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业，申博 +3 更多的是 2026-02-27 4/200 2026-03-01 10:04 by ztg729
[考研] 272求调剂 +4 田智友 2026-02-28 4/200 2026-03-01 06:43 by 刘兵
[考研] 材料调剂 +4 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 4/200 2026-03-01 00:38 by 猫猫球alter
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +4 礼堂丁真258 2026-02-28 6/300 2026-02-28 16:18 by 求调剂zz
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭