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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】EDS的测试深度问题！－－在线等
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light9791

[交流] 【请教】EDS的测试深度问题！－－在线等

请问：EDS的测试深度大概是多少？是不是用SEM设备就可以做呢？
Sample Text

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-9 at 21:03 ]
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1楼 2008-06-03 22:44:43
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sensing5668

木虫 (小有名气)
XPS做定量问题不大，不过除了做定量，XPS还可以获得很多信息。
EDS做高精度定量不太合适。
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5楼2008-06-04 09:08:08
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wuthering

金虫 (小有名气)
几百个nm到几个um左右
SEM可以配
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月色就像大海~~~
2楼2008-06-03 22:52:03
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)
★
FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢
EDS实际上是利用电子束激发样品的特征X射线来进行元素分析，一般激发深度为0.5微米至5微米深度。可以进行元素的定性和定量分析，有专门用于元素分析的电子探针（EPMA），也可以作为SEM和TEM的附件，在观察样品形貌的同时进行元素分析。
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3楼2008-06-03 23:02:53
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light9791

谢谢各位。但是如果我想做表面元素分析，只有几十纳米，而且是定量的（大概百分之几）！该做什么呢？XPS能定量吗？尤其是这么低的含量。Sample Text
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4楼2008-06-04 08:28:08
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