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light9791

[交流] 【请教】EDS的测试深度问题!--在线等

请问:EDS的测试深度大概是多少?是不是用SEM设备就可以做呢?
Sample Text


[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-9 at 21:03 ]
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wuthering

金虫 (小有名气)

几百个nm到几个um左右
SEM可以配
月色就像大海~~~
2楼2008-06-03 22:52:03
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)


FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢
EDS实际上是利用电子束激发样品的特征X射线来进行元素分析,一般激发深度为0.5微米至5微米深度。可以进行元素的定性和定量分析,有专门用于元素分析的电子探针(EPMA),也可以作为SEM和TEM的附件,在观察样品形貌的同时进行元素分析。
3楼2008-06-03 23:02:53
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light9791

谢谢各位。但是如果我想做表面元素分析,只有几十纳米,而且是定量的(大概百分之几)!该做什么呢?XPS能定量吗?尤其是这么低的含量。Sample Text
4楼2008-06-04 08:28:08
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sensing5668

木虫 (小有名气)

XPS做定量问题不大,不过除了做定量,XPS还可以获得很多信息。
EDS做高精度定量不太合适。
5楼2008-06-04 09:08:08
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wuthering

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by sensing5668 at 2008-6-4 09:08:
XPS做定量问题不大,不过除了做定量,XPS还可以获得很多信息。
EDS做高精度定量不太合适。

重元素的话,定量没问题
月色就像大海~~~
6楼2008-06-04 09:29:01
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stent

金虫 (著名写手)


FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢~欢迎多多交流
引用回帖:
Originally posted by light9791 at 2008-6-4 08:28:
谢谢各位。但是如果我想做表面元素分析,只有几十纳米,而且是定量的(大概百分之几)!该做什么呢?XPS能定量吗?尤其是这么低的含量。Sample Text

XPS可以定量,效果应该是表面分析里比较好的.
EDS算是半定量吧.如果要求精度比较高的话恐怕不符合你的要求.
7楼2008-06-04 22:02:00
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