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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 真空蒸镀铜大概需要多少度？ 使用的是JCP-350M2真空镀膜机
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爱吐泡泡的鱼

新虫 (初入文坛)

[求助] 真空蒸镀铜大概需要多少度？ 使用的是JCP-350M2真空镀膜机

如题
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1楼 2015-01-16 22:38:05
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
★
keailinger: 金币+1, 感谢应助交流，欢迎常来工艺技术版。 2015-01-20 07:23:36
本帖内容被屏蔽
2楼2015-01-19 21:45:13
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hit-boy

金虫 (正式写手)
★
爱吐泡泡的鱼(keailinger代发): 金币+1, 感谢应助交流，工艺技术版欢迎您。 2015-06-28 05:51:04
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-01-19 21:45:13
要加温做吗，我们用磁控溅射做铜膜

我们用的蒸镀和磁控溅射一体的机器，蒸镀的话，把蒸发源放入蒸发舟，通直流电就可以了。基片不需要加温！

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2015-06-27 14:31:45
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20071213001

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hit-boy at 2015-06-27 14:31:45
我们用的蒸镀和磁控溅射一体的机器，蒸镀的话，把蒸发源放入蒸发舟，通直流电就可以了。基片不需要加温！
...

您好，这种一体的机器是什么型号，能给提供一下么？我们实验室也想采购一台~谢谢O(∩_∩)O~
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4楼2015-07-02 16:05:05
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hit-boy

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 20071213001 at 2015-07-02 16:05:05
您好，这种一体的机器是什么型号，能给提供一下么？我们实验室也想采购一台~谢谢O(∩_∩)O~...

北京泰科诺 JCP-350M2
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5楼2015-07-02 16:26:21
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东东那个东

金虫 (正式写手)
一般真空度在3.71E-5Torr时，1150摄氏度到1270摄氏度
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头疼
6楼2016-06-21 16:28:22
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