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sunyong8162

银虫 (小有名气)

[求助] 纳米硅XPS数据问题 已有2人参与

我把买来的纳米硅做了一个XPS分析,看了下O、Si、C结果发现碳的峰强度很高。
看过TEM,纳米硅表面有5nm左右的氧化硅层,XPS大概就能打透5-10nm,氧峰强点正常。就想问碳峰为什么会有?还那么强?

纳米硅XPS数据问题
si-xps.jpg
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sunyong8162

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liwentao2010 at 2015-01-12 21:22:22
C峰应该属于基准物,作为参照物体系内的,可以做个EDX看看

我是第一次做XPS,不太明白,什么是基准物?是做荷电校正用的么?
EDS做过,基本没有碳。
3楼2015-01-12 21:34:25
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