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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 电介质薄膜测性能问题 求大神！
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yanzijing

金虫 (初入文坛)

[交流] 电介质薄膜测性能问题 求大神！已有3人参与

几百纳米厚度的电介质薄膜，上电极大家都是怎么制备的啊？电极大小都是多少？影响大么？
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kakakakakka
1楼2015-01-11 22:38:51
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czz03

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好和底电极一样 一般直径为0.1 0.2 mm
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3楼2015-01-12 06:46:05
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lzh_laubert

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般溅射金电极，我们一般用0.5毫米直径。电极不宜太大，否则缺陷太多，测试结果不好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2015-01-11 23:18:06
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wang_zz

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lzh_laubert at 2015-01-11 23:18:06
一般溅射金电极，我们一般用0.5毫米直径。电极不宜太大，否则缺陷太多，测试结果不好。

您好，请问您做的薄膜是多厚的呢？
我做的是50nm的薄膜，溅射好像直接就穿了
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4楼2020-11-04 19:40:29
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