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表面轮廓仪数据处理
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以下是我测试ET-3000表面轮廓仪的数据，请教各位大神以下各项分别是什么意思，谢谢~~~ Cutoff 0.25mm Filter Gauss E.length 1.500mm S.length 0.250mm Levelling Free two points Polarity normal Start-up Cutoff X 0.5 Data 9000points Form Data 0points Drive speed 0.02mm/s Pick-up PickUp1 Meas.force 100uN Ra 0.0025um Ry 0.0971um Rz 0.0498um* Sm *****mm S *****mm Diff1P 0.1728um Diff2P 0.2924um Diff3P 0.3104um (mm) F.profile P.profile 0.0000E+000 1.0912E-006 3.2329E-004 1.6667E-004 1.1904E-006 3.2339E-004 3.3333E-004 1.3888E-006 3.2349E-004 5.0000E-004 1.3888E-006 3.2349E-004 6.6667E-004 1.3888E-006 3.2349E-004 8.3333E-004 1.4880E-006 3.2349E-004 |
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