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szl林

新虫 (初入文坛)

[求助] Pt靶起辉 已有4人参与

在磁控溅射中,Pt靶在3.0Pa左右可以起辉,但在调到溅射压强1.2Pa的过程中,在1.8Pa左右便灭辉了,这是为什么,与其他金属靶相比,比如铁,铜,Pt靶有什么特殊性吗,与它的原子序数很大有关吗?
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cc250

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放电不稳定了,遇到这种情况,要么是磁控靶磁性减弱,要么就是该设备不能在低气压下稳定放电

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
无不良史
5楼2015-01-01 11:06:37
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查看全部 9 个回答

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
观察一下,降低气压的过程中,电压的变化情况?有可能电压变化较大,设备自身保护,自动断电了吧
我猜的,没仔细想过这个问题。
3楼2014-12-29 16:11:42
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
szl林: 金币+1, 有帮助 2015-01-06 19:57:12
气压下降过快,也有关系吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
hopeisagoodthing........
4楼2014-12-29 23:34:23
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王胜利_88

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直流溅射?能调节下电流值吗,另外,有人知道做出来的薄膜应该做什么样的XRD才能表征成分吗,我之前做的普通的XRD都是基底信息
加油!
6楼2015-01-01 12:46:00
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