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Pt靶起辉 已有4人参与
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| 在磁控溅射中,Pt靶在3.0Pa左右可以起辉,但在调到溅射压强1.2Pa的过程中,在1.8Pa左右便灭辉了,这是为什么,与其他金属靶相比,比如铁,铜,Pt靶有什么特殊性吗,与它的原子序数很大有关吗? |
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Jove4530
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2楼2014-12-29 11:09:02
caoxiafei
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3楼2014-12-29 16:11:42
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