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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » Pt靶起辉
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szl林

新虫 (初入文坛)

[求助] Pt靶起辉 已有4人参与

在磁控溅射中，Pt靶在3.0Pa左右可以起辉，但在调到溅射压强1.2Pa的过程中，在1.8Pa左右便灭辉了，这是为什么，与其他金属靶相比，比如铁，铜，Pt靶有什么特殊性吗，与它的原子序数很大有关吗？
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1楼 2014-12-29 10:34:45
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
szl林: 金币+1, ★有帮助 2015-01-06 19:57:12
气压下降过快，也有关系吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
4楼2014-12-29 23:34:23
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
观察一下，降低气压的过程中，电压的变化情况？有可能电压变化较大，设备自身保护，自动断电了吧
我猜的，没仔细想过这个问题。
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3楼2014-12-29 16:11:42
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cc250

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放电不稳定了，遇到这种情况，要么是磁控靶磁性减弱，要么就是该设备不能在低气压下稳定放电

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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无不良史
5楼2015-01-01 11:06:37
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王胜利_88

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

直流溅射？能调节下电流值吗，另外，有人知道做出来的薄膜应该做什么样的XRD才能表征成分吗，我之前做的普通的XRD都是基底信息
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加油！
6楼2015-01-01 12:46:00
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