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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)

[求助] 想在硅片上穿微孔有什么好的办法吗?已有4人参与

如题,最近需要在硅片上穿孔,看了一些刻蚀的方法,腐蚀速度很慢很慢。有没有什么好的方法,推荐一下。
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以考虑用激光打孔,你打多大的孔啊
2楼2014-12-25 13:46:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果孔少,就用机械打孔,比如超声,很简单。
如果是孔的数量多,就用干法刻蚀。
激光打孔也可以,还是取决于孔的大小和数量。
3楼2014-12-25 18:48:41
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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2014-12-25 13:46:09
可以考虑用激光打孔,你打多大的孔啊

孔径大约0.5mm,针孔那么大。
4楼2014-12-26 17:49:01
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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-25 18:48:41
如果孔少,就用机械打孔,比如超声,很简单。
如果是孔的数量多,就用干法刻蚀。
激光打孔也可以,还是取决于孔的大小和数量。

谢谢,我再查查相关文献
5楼2014-12-26 17:49:47
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kunlunwater

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
沙发的解答和我想的一样。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2014-12-26 19:11:32
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fib

[ 发自小木虫客户端 ]
7楼2015-04-27 00:46:26
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ahoo931

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

多厚的硅片,多大的材料,需要钻多少孔?

[ 发自小木虫客户端 ]
苏州贝林激光 微信同电话号 13815144322 赵
8楼2015-04-27 05:31:54
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号:CAE初行者,ID:

激光打孔可以,200um或者更小都可以实现

发自小木虫Android客户端
微信公众号:CAE初行者,ID:cae_cxz
9楼2016-06-10 21:25:13
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