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想在硅片上穿微孔有什么好的办法吗？已有4人参与
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| 如题，最近需要在硅片上穿孔，看了一些刻蚀的方法，腐蚀速度很慢很慢。有没有什么好的方法，推荐一下。 |
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fib [ 发自小木虫客户端 ] |
7楼2015-04-27 00:46:26
2楼2014-12-25 13:46:09
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
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- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2014-12-25 18:48:41
4楼2014-12-26 17:49:01