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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 想在硅片上穿微孔有什么好的办法吗？
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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)

[求助] 想在硅片上穿微孔有什么好的办法吗？ 已有4人参与

如题，最近需要在硅片上穿孔，看了一些刻蚀的方法，腐蚀速度很慢很慢。有没有什么好的方法，推荐一下。
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1楼 2014-12-25 11:07:24
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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-25 18:48:41
如果孔少，就用机械打孔，比如超声，很简单。
如果是孔的数量多，就用干法刻蚀。
激光打孔也可以，还是取决于孔的大小和数量。

谢谢，我再查查相关文献
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5楼2014-12-26 17:49:47
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以考虑用激光打孔，你打多大的孔啊
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2楼2014-12-25 13:46:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果孔少，就用机械打孔，比如超声，很简单。
如果是孔的数量多，就用干法刻蚀。
激光打孔也可以，还是取决于孔的大小和数量。
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3楼2014-12-25 18:48:41
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懒汉不吃鱼

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2014-12-25 13:46:09
可以考虑用激光打孔，你打多大的孔啊

孔径大约0.5mm，针孔那么大。
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4楼2014-12-26 17:49:01
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