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台阶仪与干涉仪的区别! 已有7人参与
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现在想测二氧化钛膜厚,要经常测量,SEM太贵,制样麻烦,所以想找个方便又经济的方法,翻看了小木虫以前的贴子,发现台阶仪与干涉仪可测膜厚,但: 1、两者有啥区别?台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊! 2、还有制样是不是都要做台阶? 3、另外价格,我的膜厚大约100-2000nm,用哪种便宜又能达到我的测量要求? 4、还有一个问题:好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚,它与干涉仪又有何不同? |
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15楼2014-12-26 15:33:50
石银东
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2楼2014-12-23 15:00:09
3楼2014-12-23 15:28:41
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4楼2014-12-23 15:32:57










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