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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 台阶仪与干涉仪的区别！
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lilihot

金虫 (小有名气)

[求助] 台阶仪与干涉仪的区别！ 已有7人参与

现在想测二氧化钛膜厚，要经常测量，SEM太贵，制样麻烦，所以想找个方便又经济的方法，翻看了小木虫以前的贴子，发现台阶仪与干涉仪可测膜厚，但：
1、两者有啥区别？台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊！
2、还有制样是不是都要做台阶？
3、另外价格，我的膜厚大约100－2000nm，用哪种便宜又能达到我的测量要求？
4、还有一个问题：好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚，它与干涉仪又有何不同？
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1楼 2014-12-23 11:52:27
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Spect.Ellip.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+1 2014-12-26 15:36:32
lilihot: 金币+1 2014-12-26 15:36:42
lilihot: 金币+2 2015-01-17 14:49:35
椭偏最快。精度很高。

[ 发自小木虫客户端 ]
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APPSN
13楼2014-12-23 23:02:47
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-12-23 15:29:04
方便又经济的方法就是薄膜测厚仪，你说的台阶仪和干涉仪都属于其中的分支，只不过两种测量原理和方法不一致而已，以下是两者的区别：
台阶仪：采用机械压力测量，检测仪器与样品接触，属于破坏性的检验。
干涉仪：采用光学原理，非接触式测量，属于无损检测，在测量膜厚的同时，还可以获得材料的反射光谱、透射光谱等一系列光学参数，而且准确性高于台阶仪。

我在膜厚测量仪器测量领域4年了，还有疑问的话可以接着提出。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2014-12-23 15:00:09
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lilihot

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 石银东 at 2014-12-23 15:00:09
方便又经济的方法就是薄膜测厚仪，你说的台阶仪和干涉仪都属于其中的分支，只不过两种测量原理和方法不一致而已，以下是两者的区别：
台阶仪：采用机械压力测量，检测仪器与样品接触，属于破坏性的检验。
干涉仪： ...

那么干涉仪与干涉显微镜是一回事吗，6JA型干涉显微镜可以用来测膜厚吗？各自价格大概多少，您知道吗？
赞一下 回复此楼
3楼2014-12-23 15:28:41
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石银东

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lilihot at 2014-12-23 15:28:41
那么干涉仪与干涉显微镜是一回事吗，6JA型干涉显微镜可以用来测膜厚吗？各自价格大概多少，您知道吗？...

我给你发私信了，在这交流太多限制，如果出现产品名字会被封号的。
赞一下 回复此楼
4楼2014-12-23 15:32:57
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