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求救！旋涂出的PMMA表面呈颗粒状分布 已有4人参与
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试过丙酮溶剂和四氢呋喃溶剂，浓度为5%，在硅片上旋涂，旋涂参数为1500rpm，30s，旋涂出来后表面呈透明状，但可以看到整个表面并不是平整的而是凹凸不平的，重新配过溶液，试过很多次都是这样，不知道是为什么？附件为显微镜照片。 1500rpm 5%.jpg |
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4楼2017-09-11 23:13:32
3楼2016-02-29 08:56:35
Oliver0604
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