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求救!旋涂出的PMMA表面呈颗粒状分布 已有4人参与
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试过丙酮溶剂和四氢呋喃溶剂,浓度为5%,在硅片上旋涂,旋涂参数为1500rpm,30s,旋涂出来后表面呈透明状,但可以看到整个表面并不是平整的而是凹凸不平的,重新配过溶液,试过很多次都是这样,不知道是为什么?附件为显微镜照片。 1500rpm 5%.jpg |
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