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morryxu

新虫 (初入文坛)

[交流] 求救!旋涂出的PMMA表面呈颗粒状分布 已有4人参与

试过丙酮溶剂和四氢呋喃溶剂,浓度为5%,在硅片上旋涂,旋涂参数为1500rpm,30s,旋涂出来后表面呈透明状,但可以看到整个表面并不是平整的而是凹凸不平的,重新配过溶液,试过很多次都是这样,不知道是为什么?附件为显微镜照片。

求救!旋涂出的PMMA表面呈颗粒状分布
1500rpm 5%.jpg
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王栋梁

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问您最终解决了旋涂不均匀的问题了吗
心若冰清波澜不惊
3楼2016-02-29 08:56:35
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s951732846

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我也想請問您最近有解決這問題嗎
4楼2017-09-11 23:13:32
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Oliver0604

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问您最终解决了旋涂不均匀的问题了吗
道阻且长
5楼2021-02-18 15:49:37
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