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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】涡轮分子泵问题

分子涡轮泵在启动时到抽真空到10-6Torr时,任何问题都没有。沉积薄膜开始后一段时间,一般20分钟左右,先是听到不正常的声音,过几分钟分子涡轮泵就发出警报,显示出错,提示电压不足。第二天再使用时又出现同样的问题,总是这样,快急死了,哪位高手帮帮忙。谢谢了

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-26 at 17:11 ]
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everchan

木虫 (正式写手)

分子泵里面有没有定期做维护呢?我以前碰到一个分子泵,由于没有保养(主要是要更换cartrige,参考手册上应该有),先是出现噪声,后来噪声越来越大,最后真空上不去,拆开一看,叶片都打坏了。怀疑你的情况是不是类似!
2楼2008-05-22 19:18:47
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