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[交流]
【求助】涡轮分子泵问题
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分子涡轮泵在启动时到抽真空到10-6Torr时，任何问题都没有。沉积薄膜开始后一段时间，一般20分钟左右，先是听到不正常的声音，过几分钟分子涡轮泵就发出警报，显示出错，提示电压不足。第二天再使用时又出现同样的问题，总是这样，快急死了，哪位高手帮帮忙。谢谢了 [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-26 at 17:11 ] |
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